罗晟点点头，问道：“光源系统方面的技术问题呢？”

对方立即回道：“也基本解决了。”

罗晟：“基本？那就是还没完全解决了，尽快解决。”

值得一提的是，EUV光源系统的组成，光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成，相关的工作元器件主要包括大功率CO2、激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜版、投影光学系形成等离子体，等离子利用多层膜反射镜多次反射净化能谱，从而获得13.5纳米的EUV光。

仅仅是这么一个光源的问题就要牵涉到了十

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当然，也有骗钱的，五年来有十多家厂商骗了罗晟好几十美元，这些钱算是彻底打水漂了，但这些厂商也被踢出了局，还有人被判了刑。

这样的风险在罗晟的可接受范围内，他也不会真的指望队伍里就一个坏人都没有，有坏人不怕，怕是有坏人没有找出来，不过现在的队伍是干净的了。

他们也许都有自己的小九九，罗晟不指望他们有为事业无私献身的崇高理想，这也是不现实的乌托邦想法。

但没关系，拿市场以及共同的利益维系着就行了，拿到了既得利益就会为这份利益尽心尽力。

在场的一位来自友商的技术负责人走到罗晟旁边，“罗先生，光刻机的主要性能指标，支持基片的尺寸范围、分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等技术痛点目前都已经解决了。”

第578章【“紫星”极紫外光刻机】 (第2/3页)

的设备正在数十个工作人员的操作下进行模块化组装。

“这尺寸间的艺术就是对资本最好的赞美，不枉费我耗时五年烧掉了6000多亿人民币进去。”罗晟望着内部的景象喃喃自语的说道，光刻机设备的开发进度他还是颇为满意的。

这五年来，为了打造国产EUV极紫外光刻机设备，每年都要投入200亿美元进去，迄今为止大约1000亿美元，这笔钱的出资方是蔚蓝海岸和晟峰资本，除此之外没有第三方了。

罗晟出钱出技术，其它友商伙伴根据自己所处的领域分到一笔投资资金和相关技术开始围绕这条产业链死磕，能加入这支队伍的企业，基本都是干实事的。

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